碳化硅板的表面雙層碳膜可作為比碳化物衍生碳（CDC）更好的界面涂層應用于金屬基復合材料中，也可作為機械密封件的潤滑涂層。接下來，我們一起來看一下它的制備方法吧！
　　1、碳化硅板的表面雙層碳膜是在四氯化碳氣氛下進行碳化硅的表面雙層碳膜制備；
　　2、四氯化碳為氯氣源和碳源，通過碳化物衍生碳（CDC）過程和化學氣相沉積（CVD）法，成功地在碳化硅表面制備出了雙層碳膜。該雙層碳膜分別由通過對碳化硅氯化形成的CDC亞表層和對四氯化碳熱解形成的CVD表層構成。溫度對該雙層碳膜形成有重要作用。由于CDC過程的氯化率遠高于CVD過程的沉積速率，因此CDC層比CVD層更厚；
　　3、研究人員認為，可以通過引入氫氣以及低溫蒸發四氯化碳的方法降低CDC層的厚度。該雙層碳膜的形成機制為碳化硅的氯化和CVD層的形成，這兩個過程同時發生而又相互競爭。
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