銷售熱線:18500193075(秦威)

固定電話: 010-82995634(秦威)

E-MAIL: qinwei@ime.ac.cn

QQ: 2350573414

傳真: 010-84025539

地址:北京市朝陽區北土城西路3號

網址:http://www.rf-power.net

作為中科院微電子所最新一代晶體管射頻電源(RFG系列)：
1.控制方式更靈活：全數字面板/模擬口/RS232/RS485/USB控制
2.使用壽命更長,功率控制更精密,功率輸出更穩定,頻率精度更高
3.真彩色大屏幕液晶顯示正向功率反向功率
4.最低可實現1W的穩定功率輸出
5.開機無需預熱
6.具有外部時鐘同步(CEX)功能，可同步多臺電源并克服之間的相互干擾

中科院SP型自動匹配器產品特點及主要性能指標：

　　　　1、自動快速調節匹配網絡

　　　　2、實時顯示入射功率及反射功率變化，   指示精度 3%

　　　　3、顯示自偏壓

　　　　4、實時顯示電容位置變化，可明顯展示工藝阻抗變化的特征

　　　　5、采用真空電容調節（1KW以上）

　　　　6、具有自動控制和手動控制兩種模式

　　　　7、電壓輸入: 220v

　　　　8、提供配合射頻電源的反射功率保護信號，與射頻電源配合使用

　　　　9、直流電機驅動，保證運行期間合適的速率，從而提高匹配網絡的穩定性

中國科學院微電子研究所射頻電源(RFGenerator)課題組(www.rf-power.net)從1984年開始研發電子管射頻電源(13.56MHz)，1985年研制成功，獲得“六五”攻關榮譽證書以及“FD-2反應離子刻蝕機與超精細刻蝕研究”項目二等獎。

從2010年開始受到極大規模集成電路制造裝備與成套工藝專項（國家02重大專項）資金支持，研發晶體管射頻電源，2011年研發成功300W-3000W晶體管射頻電源(13.56MHz)，獲得第七屆國際發明展覽會銀獎與第七屆北京發明創新大賽金獎。

經過二十多年的發展完善，產品的性能不斷提高，規格齊全,年銷售電子管與晶體管射頻源占國內市場份額的70%以上。

目前開發成熟的電子管與晶體管射頻電源產品有：300W、500W、1KW、1250W、1.5KW、2KW、3KW、5KW、6KW、8KW、10KW等多種規格以及不同功率的400KHz高頻電源及不同功率的穩流源與自動匹配器。

射頻電源廣泛應用于等離子體研究，集成電路工藝設備，太陽能光伏工業，LED制程，薄膜生長，感應加熱，醫療領域的消毒與理療，等離子清洗等領域。

產品現已售往北京、上海、杭州、蘇州、香港、南京、西安、成都、深圳等地的幾十所高校、科研單位及半導體設備廠等高技術公司，得到用戶的一致好評。