硅片清洗機
※ 用于硅晶片清洗腐蝕；
※ 清洗規格：2 inch ,4 cassette/Batch, 25 Pcs/cassette；   4 inch，2 cassette/ Batch，25 Pcs/cassette；
※  工藝說明:手動方式實現放件，取件，槽體間傳送件。

※ 設備形式: 室內放置型。

※ 腐蝕工藝自動補藥液保證了工藝槽在運行過程中濃度的穩定性；

※  工藝參數（溫度，時間，DIW水清洗模式、時間可調）手動由觸摸屏界面可設定；

※  機臺前方為清洗工作區域，機臺后上方為電器和氣路布置區域，后下方為液路布置區域。

※  藥液供給及補液方式:分體式CDS自動供液系統

※ DI槽配有在線式水質檢測裝置；